Liquid feed means and liquid feed method

送液手段および送液方法

Abstract

【課題】金属製の送液ポンプを備えた純水の送液手段において、送液ポンプからの金属イオンの溶出による純水の金属汚染を防止した送液手段および送液方法を提供する。 【解決手段】一次純水を貯留タンク2から超純水製造ユニット4に供給する供給手段3に、2系統の送液管11、12を設け、それぞれに送液ポンプP 1 、P 2 を備える。送液ポンプP 1 、P 2 は、片方のみを運転ポンプとして稼動させ、他方は非常用の待機ポンプとする。送液手段3には、さらに、運転ポンプ(第1送液ポンプP 1 )により貯留タンク2から送出される純水の一部を分岐させ、待機ポンプ(第2送液ポンプP 2 )内を通過させて系外へ排出する第1排出機構31を設ける。これにより、送液手段3内で液体が滞留して、金属製の待機ポンプ(第2送液ポンプP 2 )の接液部分から金属が溶出した金属を多く含む滞留液が発生することを防止する。 【選択図】 図1
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid feed means and a liquid feed method which prevent the metal pollution of pure water due to the elution of metal ions from a liquid feed pump made of a metal, in the liquid feed means equipped with the liquid feed pump. SOLUTION: The liquid feed means 3 for feeding primary pure water from a storage tank 2 to an ultrapure water production unit 4 is equipped with two systems of liquid feed pipes 11, 12, which have pumps P 1 , P 2 respectively. One of the liquid feed pumps P 1 , P 2 is operated as an operating pump, and the other is used as an emergency stand-by pump. In the liquid feed means 3, a first discharge mechanism 31 for branching a part of the pure water fed from the storage tank 2 by the operating pump (the first liquid feed pump P 1 ) and passing it through the stand-by pump (the second liquid feed pump P 2 ) to discharge it to the outside of the system is additionally installed. Thereby generation of stagnant liquid rich in metal eluting from the liquid contact part of the metal stand-by pump (the second liquid feed pump P 2 ) during liquid stagnation in the liquid feed means 3 is prevented. COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

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Patent Citations (1)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    JP-H05329470-ADecember 14, 1993Ebara Corp, 株式会社荏原製作所洗浄水製造装置

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    JP-2006167661-AJune 29, 2006Kurita Water Ind Ltd, Matsushita Electric Ind Co Ltd, 松下電器産業株式会社, 栗田工業株式会社送液手段および送液方法
    JP-2008098444-AApril 24, 2008Apprecia Technology Inc, アプリシアテクノロジー株式会社エッチング液の再生方法、エッチング方法およびエッチング装置